石墨烯是迄今發(fā)現(xiàn)的最薄的二維材料之一。石墨烯的性質(zhì)和性能顯著依賴于其結(jié)構(gòu)和形貌特征，例如層數(shù)、尺寸、缺陷（如劃痕、褶皺）等，而石墨烯的結(jié)構(gòu)和形貌特征表征則是揭示其結(jié)構(gòu)和性能關(guān)系的關(guān)鍵。SEM具有納米級分辨率、觀測范圍大、速度快等優(yōu)點，在石墨烯表面污染物、褶皺和缺陷觀測，生長機理研究和層數(shù)鑒定等方面獨具優(yōu)勢，并被廣泛應(yīng)用。 常用的支撐石墨烯的襯底大多分為單晶襯底和多晶襯底。與單晶襯底支撐的石墨烯相比…