【引言】 氮化物半導(dǎo)體二極管（氮化鎵和氮化鋁）在紫外發(fā)光二極管（LED）中具有廣闊的應(yīng)用前景。目前，市場上大部分紫外LED都是基于藍(lán)寶石襯底制備的，然而由于藍(lán)寶石襯底導(dǎo)熱性差，導(dǎo)致了紫外LED在使用過程存在嚴(yán)重散熱問題。特別是對于芯片面積大、驅(qū)動(dòng)電流大的高亮度LED器件，散熱問題會(huì)造成器件性能的嚴(yán)重下降。目前，盡管研究者采取了一些技術(shù)來試圖解決散熱問題，但都存在一些問題。比如，研究者通過倒裝芯片封…